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一种磁控溅射镀膜用真空箱[实用新型专利]

来源:小侦探旅游网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种磁控溅射镀膜用真空箱专利类型:实用新型专利发明人:王健,宁超,康万山申请号:CN201920326967.7申请日:20190314公开号:CN210012894U公开日:20200204

摘要:本实用新型创造提供了一种磁控溅射镀膜用真空箱,包括箱体和箱体上转动安装的门体,所述箱体上朝向门体的一侧设有密封条、以及用于固定门体的拉紧机构;所述门体边缘设有外裙板,箱体上对应外裙板设有内裙板,所述拉紧机构包括外裙板上滑动设置的拉板、以及箱体上用于拉紧拉板的伸缩拉杆;所述拉板设置在外裙板上异于箱体的一侧,外裙板和内裙板上均设有用于伸缩拉杆通过的通孔,伸缩拉杆穿过通孔的一端设有用于容纳拉板的过孔。本实用新型创造结构简单,易于操作,且密封性能很好,通过设置多个拉紧机构,伸缩拉杆和拉板可以持续稳定的拉紧固定门体,大大提高了这种真空箱在工作时的稳定性和密封性。

申请人:天津南玻节能玻璃有限公司

地址:301700 天津市武清区新技术产业园区武清开发区泉丰路12号

国籍:CN

代理机构:天津企兴智财知识产权代理有限公司

代理人:孟令琨

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