用于补偿曝光过程中的曝光误差的方法[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：用于补偿曝光过程中的曝光误差的方法专利类型：发明专利

发明人：C·W·J·贝伦德森,M·贝克斯,H·J·卡斯特里杰恩

斯,H·A·格瑞斯,A·H·凯沃特斯,L·M·勒瓦希尔,P·沙普,B·斯特瑞夫科尔克,S·A·特罗普

申请号：CN202010106860.9申请日：20150424公开号：CN111176079A公开日：20200519

摘要：一种用于补偿光刻设备的曝光过程中的曝光误差的方法，光刻设备包括衬底台，该方法包括：获得剂量测量，剂量测量指示到达衬底水平面的IR辐射的剂量，其中剂量测量能够用来计算曝光过程期间由光刻设备中的物体吸收的IR辐射的量；以及使用剂量测量来控制曝光过程以便补偿与曝光过程期间由物体吸收的IR辐射相关联的曝光误差。

申请人：ASML荷兰有限公司

地址：荷兰维德霍温

国籍：NL

代理机构：北京市金杜律师事务所

代理人：王茂华

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