专利名称：一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置专利类型：实用新型专利
发明人：袁凤坡,曾昊,元利勇,王玉茹申请号：CN201920286025.0申请日：20190307公开号：CN209613435U公开日：20191112
摘要：本实用新型涉及晶片加工附属装置的技术领域，特别是涉及一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，可对碳化硅晶片进行固定，保证碳化硅晶片的上蜡质量；可自动对碳化硅晶片进行上蜡，有效的减轻工作人员的劳动强度；包括工作台、四组支腿和打蜡块；还包括左滑块、右滑块、左弹簧、右弹簧、左压紧板、右压紧板、受力绳、牵引绳、两组固定板、安装座、第一电机、转轴和卷线筒，工作台顶端左半区域和右半区域分别设置有左滑动槽和右滑动槽，第一电机左部输出端设置有减速机；还包括左支撑柱、右支撑柱、横板、滑动板、转动杆、左连接板、右连接板、第二电机和气缸，横板底端中央区域设置有稳定槽，气缸底部输出端设置有伸缩杆。
申请人：同辉电子科技股份有限公司
地址：050200河北省鹿泉区高新技术开发区昌盛大街21号
国籍：CN
代理机构：石家庄元汇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：周大伟
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