一种射频阻抗匹配器[发明专利]

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专利名称：一种射频阻抗匹配器专利类型：发明专利

发明人：孙小孟,李勇滔,李英杰,刘训春,夏洋申请号：CN201210391217.0申请日：20121015公开号：CN1021660A公开日：20130123

摘要：本发明公开了一种射频阻抗匹配器，属于半导体工艺设备技术领域。所述射频阻抗匹配器包括第一可变空气电容、第二可变空气电容、电感和第三可变空气电容，第二可变空气电容和第三可变空气电容并联后与电感串联，再与第一可变空气电容并联。本发明提供的射频阻抗匹配器，能够对高品质因数Q值的负载进行精确的阻抗匹配，阻抗匹配电路结构简单，匹配过程方便快捷，实现了负载阻抗的纯阻性，满足了半导体工艺的制备要求。

申请人：中国科学院微电子研究所,北京泰龙电子技术有限公司

地址：100029 北京市朝阳区北土城西路3号

国籍：CN

代理机构：北京市德权律师事务所

代理人：刘丽君

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