专利名称：栅结构电容式微型加速度传感器专利类型：实用新型专利发明人：李宝清,陆德仁,王渭源申请号：CN98224574.2申请日：19980714公开号：CN2338750Y公开日：19990915
摘要：本实用新型是一种尺寸小至毫米量级的微型栅结构电容式加速度传感器,主要由兼作可动电极的栅状结构质量块、固定叉指式测量电极、质量块与测量电极构成的电容、支撑质量块的悬空弹性梁和限位锚点构成。其中,质量块仅沿X方向或Y方向运动,具有良好的选择性。此外,本传感器中电容可产生较大变化量,配上相应测量接口电路,不但灵敏度高,而且有利于信号处理。是一种结构简单,工艺易于实现,线性度好的实用微型加速度固态传感器。
申请人：中国科学院上海冶金研究所
地址：200050 上海市长宁区长宁路865号
国籍：CN
代理机构：上海华东专利事务所
代理人：沈德新
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