专利名称：一种精密温度控制系统专利类型：实用新型专利发明人：罗卫国,罗亮
申请号：CN200820210944.1申请日：20081215公开号：CN201335993Y公开日：20091028
摘要：本实用新型公开一种精密温度控制系统，包括位于炉腔外壁的外热电偶和位于反应管内的内热电偶，还包括一个由主调节器和副调节器串联组成的双输入回路温控仪，其内热电偶通过补偿导线接至双输入回路温控仪中主调节器前的检测输入端，外热电偶则通过补偿导线接至双输入回路温控仪中主调节器后，副调节器前的检测输入端，双输入回路温控仪的控制输出端接至可控硅触发器，并通过可控硅和与其串联的变压器接入加热模块，其中双输入回路温控仪与工业控制计算机连接。本实用新型所述精密温度控制系统，控温性能好，响应速度快，并可真实反映工艺器件所处位置的实际温度，对于炉腔容积大、系统波动大、对温度要求严格的热工对象，可以获得理想的效果。
申请人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
地址：410111 湖南省长沙市天心区新开铺1025号
国籍：CN
代理机构：长沙正奇专利事务所有限责任公司
代理人：马强
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