垂直流层洁净工作规范

东莞市昌龙电子实业有限公司 文件编号 制定部门 CL-Q3M-3275 工程部 2012-04-28 A/0 页 次 批 准 审 核 拟 制 第3页 毛飞飞 垂直流层洁净工作台使用规范 制定日期 版 本 4.5 操作中，操作者的头和手应尽量避免在产品的上侧，如需要则应戴橡胶手套或手指套。 4.6 操作使用前，中，后都应保持工作台面的洁净度。 4.7使用过程中，有任何异常（包括产品质量问题）必须及时知会相关人员进行处理。 5、技术参数 5.1 净化等级：100级（粒径≥0.5μm，≤3.5粒/升） 5.2 操作区域平均风速：0.3-0.5m/s(可调) 5.3 操作区气流状态：垂直层流 5.4 噪音：≤65Db 5.5振动：≤微米（X、Y、Z方向） 5.6 电源：220V 50HZ 6、维修保养 6.1 洁净工作台使用一段时间后（初效过滤器3—6个月，高效过滤器1—2年或更长）， 随着过滤器容尘量的增加，操作区气流速度逐渐降低，当低于0.3m/s时（此时调节压也不 能达到标准要求或引起振动较大、噪音较大）应取出初效过滤器，更换新的初效过滤器。 东莞市昌龙电子实业有限公司 文件编号 制定部门 CL-Q3M-3275 工程部 2012-04-28 A/0 页 次 批 准 审 核 拟 制 第4页 毛飞飞 垂直流层洁净工作台使用规范 制定日期 版 本 6.2 更换初效过滤器后，如气流速度仍达不到标准，则应更换高效过滤器, 更换时，应仔细检查新的高效过滤器，看其外部是否被损坏，如有损坏则 应经性能检测。 6.3为防止未经高效过滤器过滤的空气向操作区泄漏，应有高效过滤器的出风端面的外框上，粘贴宽15毫米，厚8毫米的乳胶海棉。 6.4 打开后盖板，取出旧的高效过滤器，装上新的过滤器，同时应注意： a高效空气过滤器框上的箭头，应和气流的方向一致。 b用紧定螺丝母压紧时，力求过滤器的四边框与密封框架压力均匀，以防止单边压紧而造成渗漏。 c操作时必须十分小心，严防碰击过滤器的滤纸而造成破损。 6.5 安装好高效过滤器后，盖上顶部散流板，进行检查： a渗漏检查：在进风口处点燃芭兰香，开启风机。用浊度计或粒子计数器在出风口周边时行扫描，如发现渗漏，应反复进行调整高效空气过滤器的压紧装置，如仍有渗漏，可用密封胶堵漏，直到无渗漏为止。 b气流速成度检查：用热电风速成仪测出各点的风速，符合技术条件即可使用。 6.6 照明及电机电器控制发生故障时，应打开风机箱的后盖板查看控制电路或与厂家联系