(12)发明专利说明书
(21)申请号 CN200910179472.7 (22)申请日 2009.10.20
(71)申请人 住友重机械工业株式会社
地址 日本东京都
(10)申请公布号 CN101726279B
(43)申请公布日 2012.02.01
(72)发明人 清田芳永;市原浩一
(74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司
代理人 黄剑锋
(51)Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
(54)发明名称
直线性测量方法及直线性测量装置
(57)摘要
本发明提供一种直线性测量方法,该
直线性测量方法不必高精度地进行3个位移计的零点调整即可计算测量对象物的表面轮廓。使排列在第1方向、相对位置被固定的3个位移计和测量对象物的一方(活动物),相对于另一方(固定物)一边在第1方向移动,一边测量从3个位移计到分别在测量对象物的表面沿着在第1方向延伸的测量对象线排列的3个被测量点的距离。基于3个位移计的测量结果,计算对活动物的相对位置被固定的基准点的轨迹即仿形曲线的轮廓。
将仿形曲线的计算出的轮廓的2次成分,基于事先测量出的仿形曲线的轮廓的2次成分进行校正。基于被校正的仿形曲线的轮廓计算测量对象物的表面的轮廓。 法律状态
法律状态公告日
2010-06-09 2010-08-11 2012-02-01
法律状态信息
公开
实质审查的生效 授权
法律状态
公开
实质审查的生效 授权
权利要求说明书
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说明书
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