（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201811414115.X （22）申请日 2018.11.26
（71）申请人 苏州原位芯片科技有限责任公司
地址 215000 江苏省苏州市工业园区若水路388号B506
（10）申请公布号 CN111220224A
（43）申请公布日 2020.06.02
（72）发明人 宋阳阳;温赛赛;马硕;胡慧珊;王新亮 （74）专利代理机构 北京中知法苑知识产权代理有限公司
代理人 李明
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种MEMS流量传感器芯片
（57）摘要
本发明提供了一种MEMS流量传感器芯
片，所述MEMS流量传感器芯片包括具有腔体的基底、设置在基底下方的腔体保护层、叠设于基底上方的电阻元件支承层、载置于电阻元件支承层的感温元件和测流元件、覆盖感温元件和所测流元件的电阻元件保护层以及设置在所述电阻元件保护层上方的芯片保护层。其中，所述测流元件对应设置在所述腔体的正上方；所述感温元件设置在所述基底上方的非腔体对应的位置。本发明
的MEMS流量传感器芯片应用广泛，特别适用于小微流量的流体流速测量；具有电路结构简单，测量精度高、成本低的特点；提升了测量灵敏度和测量范围；并且使用寿命更长。
法律状态
法律状态公告日
2020-06-02 2020-06-02 2020-06-26
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效
法律状态
公开 公开
实质审查的生效
权利要求说明书
一种MEMS流量传感器芯片的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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