一种直排大气的多级罗茨干式真空泵[实用新型专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种直排大气的多级罗茨干式真空泵专利类型：实用新型专利

发明人：王光玉,秦柏林,张振厚,申请号：CN200720014452.0申请日：20070907公开号：CN201074591Y公开日：20080618

摘要：本实用新型涉及真空泵技术领域，特别是一种直排大气的多级罗茨真空泵。该泵具有主从动轴、主从动转子、主从动齿轮，主动齿轮、主动转子安装在主动轴上，从动齿轮、从动转子安装在从动轴上，泵体采用多级相连结构，随转子级数不同分有多个相对的泵腔，每两个泵腔之间有级间隔板分开，并通过级间气流通道相连。本实用新型解决现有技术中一次性投入大、加工难度大、极限真空低、消耗功率大、不能直排大气、不能用于IC装备的不足。本实用新型在抽气过程中可保持真空环境不受污染，适用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。

申请人：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司

地址：110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号

国籍：CN

代理机构：沈阳科苑专利商标代理有限公司

代理人：张志伟

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