极紫外光产生、收集系统及方法[发明专利]

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专利名称：极紫外光产生、收集系统及方法专利类型：发明专利

发明人：冯日盛,许琦欣,梁海亮申请号：CN2015107145.5申请日：20151008公开号：CN106569391A公开日：20170419

摘要：本发明涉及一种极紫外光产生、收集系统及方法，所述系统包括Sn滴装置，在轰击平面上沿圆形路径或水平直线产生Sn滴；光源产生单元，在轰击平面上产生与所述Sn滴做同步运动的脉冲激光，轰击所述Sn滴；反射镜收集单元，用于收集所述Sn滴被轰击后产生的极紫外光并进行汇聚反射；二次反射单元，接收所述反射镜收集单元反射的极紫外光，并将所述极紫外光进行二次汇聚反射到同一焦点上；以及同步控制单元，用于对所述光源产生单元、Sn滴装置以及二次反射单元进行同步协制。本发明在水平方向增加Sn滴的数量，提高了LPP光源的功率，且保证了脉冲EUV光的稳定性。

申请人：上海微电子装备有限公司

地址：201203 上海市浦东新区张东路1525号

国籍：CN

代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)

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