专利名称：用于深紫外光刻术的光刻胶组合物专利类型：发明专利
发明人：R·R·达默尔,R·萨卡穆里申请号：CN02809702.5申请日：20020425公开号：CN1524201A公开日：20040825
摘要：本发明涉及在深紫外区域敏感的新颖光刻胶组合物和加工光刻胶组合物的方法，其中光刻胶包括新颖的共聚物，光活性组分和溶剂。新颖的聚合物包括衍生自烯属不饱和化合物的单元和衍生自不饱和环状非芳族化合物的单元，该烯属不饱和化合物包含至少一个氰基官能度。
申请人：科莱恩金融(BVI)有限公司
地址：英属维尔京群岛托尔托拉
国籍：VG
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：刘明海
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