一种制作金属网栅的工艺

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201410229387.8 （22）申请日 2014.05.27

（71）申请人 无锡嘉美达橡塑设备有限公司

地址 214000 江苏省无锡市惠山区惠山经济开发区洛社配套区Y区无锡嘉美达橡塑设

（10）申请公布号 CN105319836A

（43）申请公布日 2016.02.10

备有限公司

（72）发明人 张芳芳

（74）专利代理机构 北京品源专利代理有限公司

代理人 徐鹏飞

（51）Int.CI

G03F7/00; G03F7/16; G03F7/20; G03F7/26; H01L21/768;

权利要求说明书 说明书 幅图

（）发明名称

一种制作金属网栅的工艺

（57）摘要

本发明涉及微电子制造技术领域，尤其涉

及一种制作金属网栅的工艺。本发明包括：步骤

1、在衬底材料上涂覆光刻胶，用甩胶机甩胶，甩胶机工作的转速设置两组不同的转速；步骤2、用烘干机对甩胶后的衬底材料在加热箱中加热，加热温度为105℃-115℃，加热时间为3mins-5mins；步骤3、用曝光机对加热后的衬底材料进行曝光；步骤4、用与所述光刻胶配套的显影液对曝光后的衬底材料进行显影，显影时间为80s-100s；步骤5、用加热箱对显影后的衬底材料进行加热，加热温度为110℃，加热时间为5mins-10mins；步骤6、用刻蚀机进行干法刻蚀。本发明所述的工艺能够制作出较高精细度的金属网栅图形。

法律状态

法律状态公告日

法律状态信息

2016-02-10 公开 2016-02-10 公开

2018-01-12

发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态

公开 公开

发明专利申请公布后的视为撤回

权利要求说明书

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说明书

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