专利名称：一种高频声光器及制备方法专利类型：发明专利发明人：王文,王威,祝志刚申请号：CN202011327316.3申请日：20201124公开号：CN112485932A公开日：20210312
摘要：本发明公开了一种高频声光器及制备方法，所述高频声光器包含声光介质、底电极、氧化锌薄膜层、表电极以及信号线，底电极包含过渡层和导电层，过渡层设置于声光介质上，厚度为50～200纳米，导电层设置于过渡层上，厚度为100～500纳米，氧化锌薄膜层镀制在导电层上作为换能器，厚度为500～1000纳米，表电极镀制在氧化锌薄膜层上，厚度为100～500纳米，信号线分别连接底电极和表电极上，用于连接匹配网络。本发明采用溅射直接在底电极上得到换能器，避免使用真空压焊工艺，简化生产工艺，同时采用掺杂金属元素，提高氧化锌薄膜压电灵敏度。
申请人：光奥科技(武汉)有限公司
地址：430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区长城园路8号海容基孵化园D栋1楼101-2室
国籍：CN
代理机构：武汉瑞创星知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：叶小勤
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