专利名称：用于等离子体密度测量的稳定化振荡电路专利类型：发明专利
发明人：默里·D·瑟基斯,约瑟夫·T·沃德云申请号：CN00810636.3申请日：20000720公开号：CN1361919A公开日：20020731
摘要：一种用于控制等离子体处理系统中电子密度的系统(105)。通过把一高频脉动电压(117)和一校正电压加于压控器振荡器(101),使开式谐振腔等离子体处理系统(105)的电子密度,能作为基于等离子体的处理的一部分,被测量并受控制。
申请人：东京电子株式会社
地址：日本东京
国籍：JP
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：蒋世迅
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