CF4

物 品 名 称 四氟化碳 (Carbon Terafluoride) 物 品 编 号 制造商或供货商名称 制造商或供货商地址 制造商或供货商电话 紧 急 联 络 电 话 传 真 电 话 二、成分辨识资料

中 英 文 名 称 四氟化碳 Carbon Terafluoride 同 义 名 称 化 学 性 质 危害物质成分之中英文名称 四氟化碳 Carbon Terafluoride 化 学 式 CF4 FC14 － 化学式 CF4 浓度或浓度范围（成分百分比） 危害物质分类及图式 100% 2.2 危害物质成分 （成分百分比） 100% 化学文摘社登记号码 （CAS No.） 00075-73-0 CF4、四氟代甲烷、四氟甲烷、Tetrafluoromethane、Pefluoromethane、Fluorocarbon 14、三、危害辨识资料

最重要危害与效应 健康危害 效 应 环境影响 物理性/化 学性危害 特殊危害 主 要 症 状 物品危害分类 吸入大量时引起头昏眼花、呕吐、失去方向感及肌肉协调，甚至缺氧窒息而死。 长期稳定存在大气中。 不可燃气体。 － 大量吸入引起缺氧及淋痹。 2.2 图 示 四、急救措施

不 同 暴 露 途 径 吸 入：迅速移伤者到新鲜空气处，松脱束缚衣物及保持呼吸道畅通，若呼吸量不充足给予氧气呼吸，迅速送医。 眼睛接触：使用干净清水冲洗眼睛10-15分钟。 最重要症状及危害效应 － 对急救人员之防护 － 对 医 师 之 提 示 － 之 急 救 方 法 皮肤接触：不会造成皮肤的伤害。 五、灭火措施

适 用 灭 火 剂 无。为不可燃气体，若遇火源时请将钢瓶搬离至安全区，当不能移开钢瓶使用水将钢瓶外表冷却。 灭火时可能遭遇之特殊危害 气体泄漏时若接触火源将产生热分解为有毒气体。 1463493001.doc

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特 殊 灭 火 程 序 － 消防人员之特殊防护装备 － 六、泄漏处理方法

个人应注意事项 环境注意事项 清 理 方 法 － － 1.疏散周遭人员将危险区划分隔离并响起警报。 2.进入危险现象时请穿适当个人防謢器具，处置者位于上风处迅速将阀门关闭，或阻塞泄漏处泄漏，若不能停止泄漏迅将钢瓶移往空旷处并喷大量水雾，以减少蒸气或溢出之蒸气漂流，注意避免让水沿泄漏处进入容器。 3.远离各种火源且提供良好通风设备。 七、安全处置与储存方法

处 置 储 存 1.使用此气体时需符合国内高压气体劳工安全规则。 2.场所需保持通风且不要吸入蒸气。 3.打开或关闭阀门不要过度用力，气体若空瓶或不用时都要关闭阀门，且盖上外盖保护头。 1.储存时需符合国内高压气体劳工安全规则。 2.温度需保持在40℃以下且通风良好处。 3.远离火源或热源。 4.储存钢瓶时关闭阀门，且盖上外盖保护头。 5.钢瓶应避免撞击、撞倒或掉落等造成钢瓶泄漏或损坏。 八、暴露预防措施

工程控制：：－ 容 许 浓 度 八小时日时量平均短时间时量平均最高容许浓度容许浓度(TWA) — 个人防护设备： 呼吸防护：自携带式全面呼吸防护器。 手部防护：长橡皮手套。 眼睛防护：安全护目镜、面罩。 皮肤及身体防护：防护衣。 卫生措施：1.工作后尽速脱掉污染之衣物，洗净后才可再穿戴或丢弃，且须告知洗衣人员污染物之危害性。 2.工作场所严禁抽烟或饮食。 3.处理此物后，须彻底洗手。 4.维持良好之内务管理。 容许浓度(STEL) — (Ceiling) — 生 物 指 标 (BEI) LD50 (测试动物、吸收途径) — LC50 (测试动物、吸收途径) — 九、物理及化学性质

物质状态 □固体 □液体 □糊状物 □粉末 气体 形 状 气 味 气体 淡 颜 色 无色透明 pH 值 － 分解温度 － 1463493001.doc

沸点/沸点范围 -127.9℃（1 atm） 闪 火 点 测试方法 2

－ ℉ ℃ □ 开杯 □ 闭杯 自燃温度 － 蒸 气 压 760mmHg @ -127.9℃ 密 度 3.038（20℃，AIR=１） 熔 点 -184℃ 爆炸界限 蒸气密度 溶 解 度 临 界 点 － 3.04 非常难溶 -45.55℃ 38.1 kgf/cm2 十、安定性及反应性

安 定 性 正常情况下是稳定的。 特殊状况下可能之危害反应 1000℃时与CO2反应成COF2或热解成F2的有毒气体。 应避免之状况 － 应避免之物质 － 危害分解物 COF2、F2 十一、毒性资料

急 毒 性 局 部 效 应 致 敏 感 性 吸入LCL0 895000ppm (15min) － － 慢毒性或长期毒性 － 特 殊 效 应 － 十二、生态资料

可能之环境影响/环境流布： － 十三、废弃处置方法

废弃处置方法： 1.需符合国内高压气体劳工安全规则。 2.在开放自然通风区域逐渐注入大气中。 3.钢瓶与残气不管是否用完都不能丢弃，依相关法规处理。 十四、运送资料

国际运送规定： － 联合国编号：UN 1982 国内运输规定： 1.需符合国内高压气体劳工安全规则运送设施规定。 2.运送钢瓶应避免撞击、撞倒或掉落等造成钢瓶泄漏或损坏。 3.运送当中保护盖需盖好，以保护阀头，且钢瓶头保持直立。 4.帆布覆盖避免阳光暴晒，保持在40℃以下。 5.避免火源产生。 6.于车辆明显易见处设警戒标示。 7.车辆于中途必须停车者，除装卸外需避免接近人口密集区，且不管任何情况下都需有人留守。 特殊运送方法及注意事项：－ 十五、法规资料

适用法规： 1463493001.doc

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高压气体劳工安全规则 十六、其它资料

日本\"高压气体法规” 参考文献 制 表 人 日本\"碳氟化合物协会” 名称：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 制表者单位 地址/电话：上海浦东张江高科园区张江路18号86-21-50802000 职称：FAB1 ISEP 姓名（签章）：张君正 制表日期 2001/10/10

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