专利名称：一种压力传感装置专利类型：发明专利发明人：赵飚,钟胜
申请号：CN201610744380.9申请日：20160828公开号：CN106168514A公开日：20161130
摘要：本发明公开了一种压力传感装置，该装置包括：硅晶片；多孔电介质隔膜；所述硅晶片与所述的多孔电介质隔膜相贴；压力室，与所述的硅晶片底部相对，并且与多孔电介质隔膜的顶部相连接；电容器电极，其设置在所述的硅晶片底部，用于信号产生。本发明的压力传感装置具有工作效率高、采集的压力信号质量好等优点。
申请人：桂林市晶准测控技术有限公司
地址：1004 广西壮族自治区桂林市七星区六合路123号桂林电子科技大学科技园一号楼1227号
国籍：CN
代理机构：北京轻创知识产权代理有限公司
代理人：周锦全
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