MEMS加速度传感器[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：MEMS加速度传感器专利类型：发明专利

发明人：亚历桑德鲁·罗基,阿道夫·詹巴斯蒂亚尼申请号：CN201210572723.X申请日：20121226公开号：CN103185809A公开日：20130703

摘要：本发明涉及一种MEMS加速度传感器，具有基底（7）以及在X-Y平面内平行于所述基底（7）安置的传感器模块（2）。传感器模块（2）绕旋转轴线（6）能够旋转地连接至基底（7）并且包括多个孔（9）。传感器模块（2）的重量在旋转轴线（6）的两侧上不同。传感器具有用于检测传感器模块（2）绕旋转轴线（6）的旋转运动的传感器元件（8）。为了改变传感器模块（2）在旋转轴线（6）一侧相对于旋转轴线（6）另一侧的重量，传感器模块（2）的物料在一些孔（9）的区域内被部分地去除以便降低传感器模块（2）的重量，和/或沿Z方向尤其是孔（9）的延伸部添加传感器模块（2）的物料以便增加传感器模块（2）的重量。

申请人：马克西姆综合产品公司

地址：美国加利福尼亚州

国籍：US

代理机构：永新专利商标代理有限公司

代理人：蔡胜利

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