专利名称：一种注浆成型高密度AZO靶材的制备方法专利类型：发明专利
发明人：张天舒,宋晓超,陈晨,钱邦正申请号：CN201710386332.1申请日：20170526公开号：CN107032781A公开日：20170811
摘要：本发明公开一种注浆成型高密度AZO靶材的制备方法，包括以下步骤：将氧化锌粉末和氧化铝粉末混合均匀，得混合物料，将混合物料加入尼龙罐中，并加入分散剂和水，用氨水或醋酸调pH值为8.5～10.3；将预混液经球磨制备成悬浮液浆料；将球磨好的浆料经真空除气，把除气后料浆注入石膏模具中；吸浆成型后脱模，将生坯晾干72h以上；固化后脱脂，得AZO坯体；坯体经烧结制得AZO靶材。本发明采用注浆成型与无压烧结AZO靶材工艺，可低成本制得高密度的AZO靶材。
申请人：安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司
地址：230012 安徽省合肥市新站区文忠路999号
国籍：CN
代理机构：北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：张清彦
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