扩散过程是关键工序吗

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是。需要使用一种半导体晶圆承载装置用于装载硅片，然后再将装有半导体晶圆的承载装置送入扩散炉内进行集中扩散，扩散工序是半导体工艺过程中的一道关键工序，这种晶圆的承载装置也称为扩散舟。

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