刀具半径补偿的过程分为三步，具体如下：
1、刀具半径补偿建立。在这一步，刀具从起刀点出发，位于零件轮廓及零件毛坯之外，沿直线接近加工零件。依据G41或G42指令，使刀具中心在原来的编程零件轨迹的基础上，伸长或缩短一个刀具半径值，偏置于零件轮廓延长线上的一点。
2、刀具半径补偿进行。在这一步，刀具半径补偿一旦建立，则一直有效，直到取消刀具半径补偿为止。在补偿进行期间，刀具中心轨迹始终偏离零件轮廓一个刀具半径值。
3、刀具半径补偿取消。在这一步，刀具撤离工件回到起刀点，取消刀具半径补偿。在轨迹终点的刀具中心处开始沿一直线到达起刀点，起刀点与刀具中心重合。
